【非标定制湘潭宏锋机械】连续性ITO玻璃真空磁控溅射镀膜生产线

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最后更新: 2026-09-10 00:35
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“【非标定制湘潭宏锋机械】连续性ITO玻璃真空磁控溅射镀膜生产线”参数说明

是否有现货: 否 认证: CE
加工定制: 是 品牌: 湘潭宏锋机械
电镀位置: 真空镀膜 镀种: 真空镀膜
适用范围: 玻璃ITO导电膜层 产品别名: 真空镀膜线
电镀电源: 直流电源 型号: SP-9000
规格: 非标定制 商标: 湘潭宏锋机械
包装: 出口标准包装 产量: 5

“【非标定制湘潭宏锋机械】连续性ITO玻璃真空磁控溅射镀膜生产线”详细介绍

【非标定制湘潭宏锋机械】连续性ITO玻璃真空磁控溅射镀膜生产线

生产线技术特点
(1) 生产线采用大面积溅射沉积厚度均匀性控制装置,实现了均匀性可根据生产状态变化进行调整;
(2) 生产线可以同时实现多层介质膜和导电膜或金属膜的连续生产;
(3) 生产线可以采用压电阀闭路环控制工艺生产SiO2层;
(4) 生产线安采用了先进的插板阀进行腔室隔断,可以实现有效隔断,稳定工艺气体。          我司具有设计和加工插板阀的能力,采用插板阀设计密封效果更好,更耐用;
(5) 生产线采用了均匀进气管结构设计,气流注入均匀平缓;
(6) 生产线采用了先进的磁导向传动系统,基片架传动平稳;
(7) 电气控制系统:触摸屏与 PLC自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制。

技术参数
(1) 极限真空压力:6×10E-4 Pa
(2) 平均生产周期:80-180 秒/架
(3) 基片架尺寸:850mm×1500mm(可以根据要求定做)
(4) 膜层均匀性: ±3%

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