“【非标定制湘潭宏锋机械】连续性ITO玻璃真空磁控溅射镀膜生产线”参数说明
| 是否有现货: | 否 | 认证: | CE |
| 加工定制: | 是 | 品牌: | 湘潭宏锋机械 |
| 电镀位置: | 真空镀膜 | 镀种: | 真空镀膜 |
| 适用范围: | 玻璃ITO导电膜层 | 产品别名: | 真空镀膜线 |
| 电镀电源: | 直流电源 | 型号: | SP-9000 |
| 规格: | 非标定制 | 商标: | 湘潭宏锋机械 |
| 包装: | 出口标准包装 | 产量: | 5 |
“【非标定制湘潭宏锋机械】连续性ITO玻璃真空磁控溅射镀膜生产线”详细介绍
【非标定制湘潭宏锋机械】连续性ITO玻璃真空磁控溅射镀膜生产线
生产线技术特点
(1) 生产线采用大面积溅射沉积厚度均匀性控制装置,实现了均匀性可根据生产状态变化进行调整;
(2) 生产线可以同时实现多层介质膜和导电膜或金属膜的连续生产;
(3) 生产线可以采用压电阀闭路环控制工艺生产SiO2层;
(4) 生产线安采用了先进的插板阀进行腔室隔断,可以实现有效隔断,稳定工艺气体。 我司具有设计和加工插板阀的能力,采用插板阀设计密封效果更好,更耐用;
(5) 生产线采用了均匀进气管结构设计,气流注入均匀平缓;
(6) 生产线采用了先进的磁导向传动系统,基片架传动平稳;
(7) 电气控制系统:触摸屏与 PLC自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制。
技术参数
(1) 极限真空压力:6×10E-4 Pa
(2) 平均生产周期:80-180 秒/架
(3) 基片架尺寸:850mm×1500mm(可以根据要求定做)
(4) 膜层均匀性: ±3%
生产线技术特点
(1) 生产线采用大面积溅射沉积厚度均匀性控制装置,实现了均匀性可根据生产状态变化进行调整;
(2) 生产线可以同时实现多层介质膜和导电膜或金属膜的连续生产;
(3) 生产线可以采用压电阀闭路环控制工艺生产SiO2层;
(4) 生产线安采用了先进的插板阀进行腔室隔断,可以实现有效隔断,稳定工艺气体。 我司具有设计和加工插板阀的能力,采用插板阀设计密封效果更好,更耐用;
(5) 生产线采用了均匀进气管结构设计,气流注入均匀平缓;
(6) 生产线采用了先进的磁导向传动系统,基片架传动平稳;
(7) 电气控制系统:触摸屏与 PLC自动控制,人机对话方式来实现系统的数据显示、操作与控制。
技术参数
(1) 极限真空压力:6×10E-4 Pa
(2) 平均生产周期:80-180 秒/架
(3) 基片架尺寸:850mm×1500mm(可以根据要求定做)
(4) 膜层均匀性: ±3%

