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	光栅尺　　测量系统：透射式红外光学测量系统。　　滚动系统：垂直式五轴承滚动系统分辨率：10um、5um、2um、1um、0.5um、0.2um、0.1um 　　输出信号：TTL（单方波），EIA-422-A（RS-422）（双方波）、~1VPP（正弦波）　　工作环境：温...	2026-09-21